表面洁净度测试仪 解决方案

　　表面洁净度测试仪
 

　　一、 仪器介绍
 

　　概述：
 

　　表面洁净度测试仪采接触式，量测物体表面的粒子数量的设备。半导体，面板厂，设备商与所有清洁部件厂商，验证部件表面是否干净的检验标准工具，人的肉眼很难看清直径在100微米以下的粒子，这些粒子会快速沉降，逃避常规的空气检测从而聚集在关键表面或产品上，从而减少产品的良率及降低产品的稳定性。
 

　　执行标准：
 

　　ISO14644-9:2022 《洁净室和相关的受控环境第 9 部分:颗粒浓度表面清洁度的评估》
 

　　二、 仪器参数
 

　　技术参数：
 

　　控制系统：PLC
 

　　操作界面：7寸触摸屏
 

　　流量:28.3L/min+5% 内置流量传感器，流量自动闭环控制
 

　　光源: 进口激光二极管
 

　　测试粒径:0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0um(可根据客户需求定制，最多八个通道)
 

　　最大饱和浓度:2000000/ft3(5%)
 

　　自净时间:≤10min
 

　　测量次数:0-99次周期:0-99999秒测量间:0-9999秒时时间:0-9999秒
 

　　洁净度等级:1~9级
 

　　采样头规格:φ36.5
 

　　数据单位:m3、ft3
 

　　SCP等级:1级-8级
 

　　表面类型:圆形、方形
 

　　表面探头:φ12.7 mm、φ20 mm、φ30 mm、φ50 mm、φ70 mm
 

　　数据单位:m2、ft2、in2、cm2、mm2
 

　　根据探头的形状(如:圆形输入直径、方形输入长宽尺寸)，自动计算出表面积。
 

　　打印功能:热敏打印机
 

　　数据储存:可储存100000组数据
 

　　重量:15kg
 

　　外形尺寸:300*400*450mm
 

　　电源：AC220V 50Hz  150W (可选带锂电池组)
 

　　基本配置
 

　　主机   一台
 

　　说明书 1份
 

　　合格证1份
 

　　签收单1份
 

　　电源线1份
 

　　扳手1套
 

　　保修卡 一个
 

　　铭牌   一个